• 蒸着処理について

    薄膜原料を真空中で加熱・蒸発させ、基材表面で凝縮・固化させることにより、薄膜を形成する技術です。
    カツラヤマテクノロジーでは、フッ素系高分子を原料とし、プロセス全体の最高温度が50℃と低温で処理できることから基材への熱影響を抑えた表面処理を行うことが可能となります。

    撥水・撥油・防汚性

    撥水・
    撥油性
    オリーブオイルの油滴による比較 油性マジックペンによる比較 ※写真の素材はPMMA
    処理あり 処理なし 処理あり 処理なし




    コーティング
    なし
    NANOS
    処理
    2往復 4往復 6往復 8往復

    基板:ソーダライムガラス 拭き取り材:ティッシュペーパー「エリエール」

    成形テスト

    NANOSコートあり ※形成薄膜ナノスB仕様 膜厚:10mm

    金型:ホール ▶ 樹脂:ピラー 金型:ライン&スペース(凸型)

    樹脂:ライン&スペース(凹型)
    金型:ピラー ▶ 樹脂:ホール
    パターン ホール径Φ1μm × 深さ5μm 幅1μm × 深さ5μm ホール径Φ1μm × 高さ5μm
    金型
    (si)
    樹脂基板
    (COC)

    NANOSコートなし

    金型:ホール ▶ 樹脂:ピラー 金型:ライン&スペース(凸型)

    樹脂:ライン&スペース(凹型)
    金型:ピラー ▶ 樹脂:ホール
    パターン ホール径Φ1μm × 深さ5μm 幅1μm × 深さ5μm ホール径Φ1μm × 高さ5μm
    金型
    (si)
    樹脂基板
    (COC)

    パターン形状:アスベクト比5

    使用金型:株式会社共同インターナショナル社製「ナノインプリント用お試しsiモールド」

    ナノインプリント装置による成型テストおよびSEMIによる観察についても株式会社共同インターナショナル様

    にご協力いただいたものです。

    採用実績と効果

      採用実績 目的・効果
    真空蒸着法 インクジェットヘッド 印刷性向上
    光学部品用金型 離型性向上
    スタンパ金型 離型性向上、タクトタイムの短縮
    ナノインプリント用金型 離型性向上、微細形状への追従性
    転写プロセス用治具(凹版など) 転写性向上(離型剤レス)
    フォトマスク レジストの付着防止
    AFM、STM用プローブ 異物の付着防止

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